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主題釋義：

電子特氣——是指用于半導體、平板顯示及其它電子產品生產的特種氣體。晶圓制造主要包括清洗、沉積/CVD、光刻、刻蝕、離子注入、成膜等工藝，從單個芯片生成到最后器件的封裝，幾乎每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體，因此電子特氣對于半導體材料來說是魚與水的 密不可分的關系。

特氣的種類繁多，我們今天聚焦特氣的一個重要分支——電子特種氣體，是指用于半導體、平板顯示及其它電子產品生產的一類氣體。隨著半導體產業(yè)的市場規(guī)模增長，與之息息相關的電子特氣市場份額也逐年增加。>>>商務洽談，點此處，在線咨詢

“將電子特氣列為國家重點鼓勵發(fā)展產業(yè)，有力推動電子特種氣體產業(yè)的發(fā)展?！边@一利好，讓國內企業(yè)紛紛加大研發(fā)投入，不斷突破技術難關，為早日實現(xiàn)電子特種氣體產品的國產替代而努力?；谘邪l(fā)突破瓶頸限制，追求高純度特氣的需求，電子特種氣體的潔凈車間扮演著重要的角色，肩負著提純控質的艱巨要求。本文就跟隨小編的介紹，簡單了解一下電子特氣車間工程。

我們以含氟特氣潔凈車間為例進行討論，含氟特氣潔凈車間需要經過純化、重裝、分析檢測、氣瓶存儲幾個關鍵核心工藝區(qū)，這些工藝段的潔凈空間要根據(jù)工藝階段與氣體特性差異化分級建設，CEIDI西遞指導意見如下：

這也是依據(jù)中國電子特氣行業(yè)相關政策的要求，對特氣在半導體制造環(huán)節(jié)中清潔、刻蝕、沉積、摻雜以及光刻過程中，氣體的純度與精確性的明確要求——通常是99.999%(5N)甚至更高所做出的核心控制目標。也就是說，電子特氣車間的特殊性決定了工程的難度，這也是很多工裝或設備總包商的盲點所在，以致于不得不求助于專業(yè)潔凈工程商尋求整體解決方案。CEID西遞市場部也接到許多尋求解決此類技術難題的項目需求。

其實，如果用一句話來闡述特氣工程的設計思路，我們認為：“整個設計都要貫穿潔凈與防爆要求的矛盾點，也就是防爆設計與氣流組織的平衡點去構思整個解決方案”。

我們先聊潔凈工程部分：

把握萬級(ISO 8級)與局部百級(ISO 5級)組合的技術方案。

萬級部分實現(xiàn)建議：

氣流組織：換氣25-30次/h，局部FFU層流罩;三級過濾：G4+F8+H13高效過濾器;壓差控制：核心區(qū)+15Pa，梯度遞減;材料工藝：彩鋼板密封+環(huán)氧防靜電地坪;人員管理：潔凈服+風淋室。動態(tài)監(jiān)測粒子/溫濕度，定期檢漏維護。

局部百級實現(xiàn)建議：

可以通過充裝口、閥門連接處需設置百級層流罩(FFU+ULPA過濾器)來實現(xiàn)，防止金屬微粒脫落污染氣體，達到半導體級特氣≤0.1μm顆粒物要求。

電子特種氣體車間往往涵蓋甲類、乙類與非防爆區(qū)，從CEIDI西遞的設計方案中可以看出：關于防爆 ，我們的設計師采取的是確定分級分區(qū)管控體系，將甲類與乙類車間做差異化設計。

甲類車間采用物理隔離與泄爆設計：

裝飾裝修：采用鋼筋混凝土防爆墻(耐火極限≥3h)分隔甲類區(qū)與非防爆區(qū)，泄爆窗采用輕質金屬框架+夾膠玻璃(泄爆壓力≤0.1MPa)，確保爆炸時沖擊波定向釋放。鋼制防爆門，帶自閉式氣密封條(關閉壓力≥50Pa)。

通排風：用EX認證離心風機+防靜電PVC風管足組成防爆型排風系統(tǒng)，維持12次/h換氣，風機入口加裝阻火器，風管每15m設泄爆片，排風口遠離人員區(qū)域。噴淋系統(tǒng)與可燃氣體探測器聯(lián)動。

線路敷設：電纜選用阻燃銅芯電纜穿鍍鋅鋼管，管口密封用防爆膠泥。橋架選用鋁合金材質(無火花)，與非防爆區(qū)交界處設置防火隔斷。

接地系統(tǒng)：獨立防靜電接地網(銅棒+降阻劑)，與防雷接地間距≥20m;設備接地線采用6mm2黃綠雙色線，連接處鍍錫處理。

乙類車間主要是采用壓力控制管控：

正壓控制與氧濃度管理，可選FFU+高效過濾器(H14級)維持相對正壓(+5Pa~+10Pa)，氧氣濃度傳感器實時監(jiān)控(報警閾值設定為23.5%vol)，與新風系統(tǒng)聯(lián)動稀釋。

非防爆區(qū)：

采用常規(guī)裝飾裝修設計。

此外，做裝修設計方案的時候，設計團隊需要充分了解特氣屬性，技術方案要圍繞其屬性因素展開布局。以本文我們討論的含氟特氣為例，其特殊性為氟化物(如WF?)遇水生成HF，會腐蝕設備并產生顆粒物，因此在方案設計中我們的設計師除了防爆設計也會著重考慮濕度控制與防腐技術方案。

針對電子特氣車間的防腐要求，需從材料選擇、密封工藝、結構設計、設備防護四大維度進行針對性防腐處理，限于篇幅我們列舉一些常見的材料選型建議，當然施工工藝的優(yōu)劣對整個防腐系統(tǒng)的驗收起重要作用，例如良好的密封與接縫處理能杜絕泄漏點;不銹鋼管道的焊接工藝、焊后電解拋光的不漏項步驟等等。

在半導體制造工藝邁向3nm節(jié)點的今天，電子特氣潔凈車間已不僅代表著獨立的氣體生產空間，更是支撐產業(yè)升級的關鍵基礎設施，是半導體Fab廠必備的配套工程，其潔凈廠房工程建設是一項高度專業(yè)化的系統(tǒng)工程，涉及防爆、防腐、潔凈度控制、溫濕度管理等多重要求(篇幅限制不能詳細列舉)。若您的企業(yè)有電子特氣或半導體產業(yè)上下游工程建設需求，歡迎隨時聯(lián)系，我們將為您提供專業(yè)EPC工程解決方案，涵蓋規(guī)劃、設計、施工、調試及驗收全流程服務。

咨詢熱線：021-62250299 / 400-666-1693

專業(yè)團隊，全程技術支持，助力潔凈工程高效落地!

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